特許
J-GLOBAL ID:201103038655406370
半導体装置の製造方法及び基板処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
油井 透
, 阿仁屋 節雄
, 清野 仁
, 福岡 昌浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-119766
公開番号(公開出願番号):特開2011-249480
出願日: 2010年05月25日
公開日(公表日): 2011年12月08日
要約:
【課題】従来のCVD法の欠点とALD法の欠点を改善し、薄膜化の要求に応えるとともに、高い成膜速度を実現する。 【解決手段】CVD反応が生じる条件下でそれ単独で固体となる第1元素を含むガスを供給して基板上に第1元素を含む第1の層を形成する工程と、それ単独では固体とならない第2元素を含むガスを供給して第1の層を改質して第1元素および第2元素を含む第2の層を形成する工程と、を1サイクルとしてこのサイクルを1回以上行い、所定膜厚の第1元素および第2元素を含む薄膜を形成する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
基板を収容した処理容器内にCVD反応が生じる条件下でそれ単独で固体となる第1元素を含むガスを供給することで、前記基板上に前記第1元素を含む第1の層を形成する工程と、
前記処理容器内にそれ単独では固体とならない第2元素を含むガスを供給することで、前記第1の層を改質して前記第1元素および前記第2元素を含む第2の層を形成する工程と、
を1サイクルとして、このサイクルを1回以上行うことで、所定膜厚の前記第1元素および前記第2元素を含む薄膜を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/31 B
, C23C16/44 A
Fターム (37件):
4K030AA03
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA11
, 4K030AA13
, 4K030AA14
, 4K030AA17
, 4K030BA26
, 4K030BA27
, 4K030BA29
, 4K030BA35
, 4K030BA40
, 4K030CA12
, 4K030FA10
, 4K030GA06
, 4K030HA01
, 4K030JA09
, 4K030KA41
, 4K030LA15
, 5F045AB31
, 5F045AB32
, 5F045AB33
, 5F045AC05
, 5F045AC07
, 5F045AC11
, 5F045AC12
, 5F045AC15
, 5F045AD10
, 5F045AE21
, 5F045AF03
, 5F045BB02
, 5F045BB09
, 5F045DP19
, 5F045DP28
, 5F045DQ05
, 5F045EE19
, 5F045EF03
引用特許:
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