導通式の真空ガス除去ユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082155
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074718
特許番号：特許第3499188号
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 1以上の液体からガスを除去するための導通式の真空ガス除去ユニットであって、内部に真空圧を発生させるための真空源に連結される真空室と、ガス除去すべき液体を入れる入口連結部および出る出口連結部と、室を通して液体を導くための連続チューブであって、入口および出口連結部の間に連結され、材料を通して溶解ガスは透過できるが液体は透過できない重合材料でそれぞれ形成されている連続チューブと、室内の検出真空レベルに応じて室内に真空圧を発生させるように真空源を作動させるための、閉ループ制御を行う自動制御手段とを含んでおり、前記制御手段は初期のポンプ排気時に比較的迅速に前記真空源を作動させ、所望の真空レベルに達した後は前記真空源を実質的に安定した遅い速度で作動させるようになっている導通式の真空ガス除去ユニット。

IPC (6件)：

G01N 30/26 , B01D 19/00 , B01D 19/00 101 , B01D 63/06 , G01N 1/10 , G01N 1/14

FI (7件)：

G01N 30/26 H , G01N 30/26 E , B01D 19/00 H , B01D 19/00 101 , B01D 63/06 , G01N 1/10 J , G01N 1/14 F

引用特許：

出願人引用 (3件)

処理液供給装置用脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338234 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-189972 出願人：松下電器産業株式会社
脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120157 出願人：ジャパンゴアテックス株式会社

審査官引用 (3件)

処理液供給装置用脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338234 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-189972 出願人：松下電器産業株式会社
脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120157 出願人：ジャパンゴアテックス株式会社

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