表面検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-102546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289793
特許番号：特許第4411738号
出願日： 2000年04月04日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検物体を照明する照明手段と、前記被検物体からの回折光に基づく物体像を撮像する撮像手段と、前記照明の方向と前記被検物からの回折光の方向との少なくとも一方に対して、前記被検物を相対的に傾動させるチルト手段と、前記撮像手段により前記物体像を撮像する際の前記傾動による傾斜の状態を設定または変更する条件制御手段と、前記条件制御手段により前記傾斜の状態を微少量ずつ変更し、前記撮像手段によりそれぞれ撮像された画像を取り込み、該画像の画素の濃度値の度数分布を求め、該度数分布で所定範囲内に含まれる前記濃度の度数が最大となる前記傾斜の状態を最適条件として決定する決定手段と、前記最適条件に設定された状態で前記撮像手段により撮像される前記物体像の画像を取り込み、該画像に基づいて前記被検物体の欠陥を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ( 200 6.01) , G01B 11/30 ( 200 6.01) , G06T 1/00 ( 200 6.01) , H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 21/956 A , G01B 11/30 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J

引用特許：

出願人引用 (4件)

半導体ウエハの自動検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133152 出願人：株式会社ニコン
物品の欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-033947 出願人：住友製薬株式会社, 日本電気ロボットエンジニアリング株式会社, 澁谷工業株式会社
しきい値算出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-329601 出願人：ソニー・テクトロニクス株式会社

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審査官引用 (4件)

半導体ウエハの自動検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133152 出願人：株式会社ニコン
物品の欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-033947 出願人：住友製薬株式会社, 日本電気ロボットエンジニアリング株式会社, 澁谷工業株式会社
しきい値算出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-329601 出願人：ソニー・テクトロニクス株式会社

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