特許
J-GLOBAL ID:201103039631460469

空気の屈折率および光路長の影響を測定するための干渉測定器および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-532684
特許番号:特許第3332367号
出願日: 1999年02月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 測定経路内のガスの屈折率の影響を測定するための装置であって、該装置は、異なる波長を有する第1の光ビーム(7)および第2の光ビーム(8)を少なくとも発する1つ以上の光源と、第1および第2の測定レッグを含む干渉計(260)であって、該第1および第2の測定レッグは、少なくとも一方の測定レッグが可変物理長を有し、そして少なくとも一方の測定レッグが少なくとも部分的に前記ガスで満たされるように構成および配置された光路を有し、該第1および第2の測定レッグの間の光路長差は、該光路のそれぞれの物理長の間の差および該ガスの特性に従って異なる、干渉計と、該第1および第2の光ビームのそれぞれの第1および第2の所定の部分を、該第1および第2の測定レッグにそれぞれ導入するための導入手段であって、これにより、所定部分の各々が、所定の光路に沿って該第1および第2の測定レッグを同じ通過回数で伝播し、該所定の部分は、該第1および第2の光ビームの波長での該第1および第2の測定レッグを通る該それぞれの光路長に関する情報を含む、出射ビーム(215)の成分として該干渉計から現れる、導入手段と、該出射ビームの該成分を組み合わせて、該出射ビームの該成分のそれぞれの間の位相差に対応する情報を含む混合光学信号を生成するための混合手段(244)と、を含み、該装置は、該混合光学信号を検出し、該異なるビーム波長での該ガスの該屈折率の影響、ならびに該第1および第2の測定レッグの物理経路長および変化の相対速度の差に対応する情報を含む電気干渉信号を生成するための検出手段(85、86)と、該電気干渉信号を分析して、該第1および第2の測定レッグの該物理経路長が変化する相対速度を補償しつつ、少なくとも一方の測定レッグ内の該ガスの該影響を決定するための電子手段(109、または、109B)と、により特徴付けられる、装置。
IPC (3件):
G01N 21/45 ,  G01B 9/02 ,  G01J 9/02
FI (3件):
G01N 21/45 A ,  G01B 9/02 ,  G01J 9/02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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