スリット式塗布装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-054900
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254008
特許番号：特許第4206643号
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧力タンク内に加圧された薬液を薬液バルブによりスリットノズルに供給する加圧方式であり、塗布開始と終了時に薬液の吐出量を制御するスリット式塗布装置であって、前記薬液供給のON/OFFを行う常時閉(ノーマルクローズド)の単動(スプリングバック)薬液バルブを有する機構と、該薬液バルブ弁の開または閉を駆動(制御)するためのエアー圧力をコントローラからの電気的信号により自在に変更可能な電空レギュレータを有する機構と、設定電圧、設定電圧への立ち上がり時間、設定電圧からの立ち下がり時間の入力が可能な、前記レギュレータに電気的信号を伝送するためのコントローラを有する機構とを具備していることを特徴とするスリット式塗布装置。

IPC (1件)：