特許
J-GLOBAL ID：201103040352145349
複数の赤外波長帯を検出する熱型赤外アレイセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
机 昌彦
, 谷澤 靖久
, 河合 信明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005536
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205944
特許番号：特許第3597069号
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】入射する赤外線を測定するセンサが所定の配列で配置されている熱分離構造を有する熱型赤外線アレイセンサであって、検出する赤外波長帯が異なるセンサが千鳥配列されており、基板から伸長している梁によって空間に支持されているダイアフラムがそれぞれ1つの画素に対応して配置され、該ダイアフラムは、赤外線を透過する熱電変換材料薄膜と、該熱電変換材料薄膜の抵抗の変化を取り出すための電極と、該熱電変換材料薄膜と該電極とを取り囲む保護膜とから構成され、前記ダイアフラムの直下の前記基板上には赤外線完全反射膜が形成され、一種類の画素の前記ダイアフラムの前記保護膜は所定の波長帯の赤外線を吸収する材質で構成され、他の種類の画素の前記ダイアフラムの前記保護膜は赤外線に対して透明な材質で構成され、かつ該ダイアフラムの上面には真空インピーダンスマッチングした赤外吸収薄膜が形成され、該赤外吸収薄膜と前記赤外線完全反射膜との間で打ち消し合う干渉により前記所定の波長帯以外の赤外線が吸収されるような間隔に、前記赤外吸収薄膜と前記赤外線完全反射膜との間隔が調整されていることを特徴とする熱型赤外アレイセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 C
, H01L 27/14 K
