距離センサ及び距離画像センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-229906
公開番号（公開出願番号）：特開2011-133464
出願日： 2010年10月12日
公開日（公表日）： 2011年07月07日
要約：

【課題】開口率の向上を図ることが可能な距離センサ及び距離画像センサを提供する。【解決手段】距離画像センサRSは、2次元状に配置された複数のユニットからなる撮像領域を半導体基板1上に備え、ユニットから出力される電荷量に基づいて、距離画像を得る。1つのユニットは、光感応領域と、第1及び第2長辺L1,L2の対向方向でフォトゲート電極PGを挟んで対向する第3半導体領域9a,9bと、第3半導体領域9a,9bとフォトゲート電極PGとの間に設けられる第1及び第2転送電極TX1,TX2と、第3半導体領域9a、9bを第1及び第2長辺L1,L2の対向方向において挟んで配置される第4半導体領域11a,11bと、第4半導体領域11a,11bとフォトゲート電極PGとの間にそれぞれ設けられる第3転送電極TX3とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

入射光に応じて電荷を発生し、且つその平面形状が互いに対向する第1及び第2長辺と互いに対向する第1及び第2短辺とを有する光感応領域と、前記第1及び第2長辺の対向方向で前記光感応領域を挟んで対向して配置され、前記光感応領域からの信号電荷を収集する信号電荷収集領域と、異なる位相の電荷転送信号が与えられ、前記信号電荷収集領域と前記光感応領域との間にそれぞれ設けられる転送電極と、前記第1長辺側において該第1長辺に沿って前記信号電荷収集領域を挟むように互いに空間的に離間して配置され、前記光感応領域からの不要電荷を収集する第1不要電荷収集領域と、前記第1及び第2長辺の対向方向で前記光感応領域を挟んで前記第1不要電荷収集領域と対向すると共に、前記第2長辺側において該第2長辺に沿って前記信号電荷収集領域を挟むように互いに空間的に離間して配置され、前記光感応領域からの不要電荷を収集する第2不要電荷収集領域と、前記第1及び第2不要電荷収集領域と前記光感応領域との間にそれぞれ設けられ、前記光感応領域から前記第1及び第2不要電荷領域への不要電荷の流れの遮断及び開放を選択的に行う不要電荷収集ゲート電極と、を備えることを特徴とする距離センサ。

IPC (2件)：

G01S 17/89 , H01L 27/14

FI (3件)：

G01S17/89 , H01L27/14 Z , H01L27/14 K

Fターム (11件)：

4M118AB03 , 4M118BA14 , 4M118CA07 , 4M118DD04 , 4M118DD12 , 5J084AA05 , 5J084AD01 , 5J084AD05 , 5J084BA34 , 5J084CA65 , 5J084CA67

引用特許：

審査官引用 (6件)

距離画像センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-132945 出願人：川人祥二
距離画像センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-177702 出願人：富士フイルム株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-343181 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る