特許
J-GLOBAL ID:201103043181437620

表面性状測定機、表面性状測定機用の傾斜調整装置および表面性状測定機における測定対象物の姿勢調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 實三 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-299508
公開番号(公開出願番号):特開2000-266534
特許番号:特許第3482362号
出願日: 1999年10月21日
公開日(公表日): 2000年09月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 稜線を有する測定対象物がワーク姿勢調整テーブル上に載置されるとともに、前記測定対象物が、測定方向(X軸方向)と、このX軸方向と水平面内で直交する方向(Y軸方向)とに移動可能かつXY平面内で回転可能とされ、さらにX軸方向と垂直面内で直交する方向(Z軸方向)に揺動可能とされ、前記測定対象物の姿勢の調整を行った後にX軸方向に移動自在な検出器により表面性状測定を行う表面性状測定機において、前記測定対象物の姿勢の調整を行うための測定制御手段と、この測定制御手段により制御される測定手段とを備え、前記測定制御手段は、前記測定対象物の表面性状を測定する表面性状測定制御手段と、前記測定対象物の姿勢の調整に際して測定開始点および測定終了点におけるX軸座標値を入力するX軸座標値入力手段と、前記測定対象物の姿勢の調整に際して測定開始点および測定終了点におけるY軸座標値を入力するY軸座標値入力手段と、前記X軸座標値入力手段により入力されたX軸座標値と前記Y軸座標値入力手段により入力されたY軸座標値とからスイベル角度(X軸に対するXY平面内での傾き量)を求め、このスイベル角度に基づいてスイベル修正量(スイベル角度を0°とするのに必要な長さの操作量)を算出するスイベル修正量算出手段と、このスイベル修正量算出手段により算出されたスイベル修正量を表示するスイベル修正量表示手段とを含み構成され、前記測定手段は、前記スイベル修正量表示手段に表示されたスイベル修正量に従って前記測定対象物をXY平面内で手動により回転させて姿勢を調整するスイベル調整手段と、前記測定対象物をY軸方向に手動により移動させて姿勢を調整するY軸調整手段とを含み構成され、前記測定開始点および測定終了点のX軸座標値は任意に設定され、前記測定開始点および測定終了点のY軸座標値は、前記任意に設定された各X軸座標値において前記ワークをY軸方向に移動させて検出した値を基に判定された前記ワークの稜線上の値とされていることを特徴とする表面性状測定機。
IPC (2件):
G01B 21/20 ,  G01B 21/00
FI (2件):
G01B 21/20 C ,  G01B 21/00 L
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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