特許
J-GLOBAL ID：201103043496015996

感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、並びに半導体装置

発明者：
田村 信史

田村 信史 について

, 
藤田 充

藤田 充 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-031580
公開番号（公開出願番号）：特開2011-169980
出願日： 2010年02月16日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：
【課題】銅又は銅合金の上でも変色を起こさず、感度及び保存安定性に優れた感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いる硬化レリーフパターン製造方法、並びに半導体装置を提供する。【解決手段】(A)感光性樹脂:100質量部、(B)感光剤:1〜40質量部、(C)銅変色防止剤:0.05〜20質量部、及び(D)溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物中の水分含有量が0.6〜10質量%である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
以下の: (A)感光性樹脂:100質量部、 (B)感光剤:1〜40質量部、 (C)銅変色防止剤:0.05〜20質量部、及び (D)溶媒 を含有する感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物中の水分含有量が0.6〜10質量%である、感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/22
FI (9件)：
G03F7/027 514 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/10 ,  C08G73/22
Fターム (66件)：
2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H125AC32 ,  2H125AC64 ,  2H125AC66 ,  2H125AD06 ,  2H125AE03P ,  2H125AF05P ,  2H125AM75P ,  2H125AN54P ,  2H125AN55P ,  2H125AN57P ,  2H125AN64P ,  2H125AN82P ,  2H125AN84P ,  2H125AP01P ,  2H125BA00P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA22P ,  2H125CA12 ,  2H125CB06 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC13 ,  2H125CC21 ,  4J043PA19 ,  4J043PC08 ,  4J043PC085 ,  4J043QB31 ,  4J043QB61 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SA36 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA221 ,  4J043UA231 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB321 ,  4J043ZB50
引用特許：
審査官引用 (4件)
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