特許

J-GLOBAL ID：201103043614565769

感光性樹脂組成物

発明者： 嶋谷 聡 ,  高木 利哉
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (2件)： 森下 賢樹 ,  青木 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200705
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054682
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】厚膜形成に適した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】実施の形態に係る感光性樹脂組成物は、光照射により重合する重合性基を有するシロキサンポリマー(A)と、末端変性シロキサン化合物(B)と、重合開始剤(C)と、を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

光照射により重合する重合性基を有するシロキサンポリマー(A)と、 末端変性シロキサン化合物(B)と、 重合開始剤(C)と、 を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  C08F 290/14

FI (2件)：

H01L21/30 502D ,  C08F290/14

Fターム (26件)：

4J127AA03 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD291 ,  4J127BD341 ,  4J127BE59Y ,  4J127BE591 ,  4J127BF71Y ,  4J127BF711 ,  4J127BF72Y ,  4J127BF721 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG38Y ,  4J127BG381 ,  4J127CB281 ,  4J127CC371 ,  4J127FA00 ,  4J127FA16 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 硬化性樹脂組成物、及び光学物品、並びにそれを用いた画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-328560   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 微細パターンの形成方法及び偏光分離素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-106253   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 磁気記録媒体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-121695   出願人：株式会社東芝
• ナノインプリント用の膜形成組成物およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-262009   出願人：東京応化工業株式会社