特許
J-GLOBAL ID：201103043903111857

超精密位置決めシステム

発明者：
ヒー ジェ バク

ヒー ジェ バク について


出願人/特許権者：
ヒー ジェ バク

ヒー ジェ バク について


代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-581145
特許番号：特許第3972001号
出願日： 2001年08月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 超精密位置決めシステムであって、 ベースと、 前記ベースに対して運動できるように、前記ベースの上部に配置されるモーションステージと、 前記ベースに対して前記モーションステージをX軸並進運動させ、第1アクチュエータ、円弧ヒンジを有する第1ヒンジ要素、及び円弧ヒンジを有する第2ヒンジ要素からなる第1移送手段と、 前記ベースに対して前記モーションステージをY軸並進運動及びZ軸回転運動させ、第2アクチュエータ、円弧ヒンジを有する第1ヒンジ要素、及び円弧ヒンジを有する第2ヒンジ要素からなる第2移送手段と、 前記第2移送手段と協同して前記ベースに対して前記モーションステージをY軸並進運動及びZ軸回転運動させ、第3アクチュエータ、円弧ヒンジを有する第1ヒンジ要素、及び円弧ヒンジを有する第2ヒンジ要素からなる第3移送手段と、 前記ベースに対して前記モーションステージをX軸回転運動させ、第4アクチュエータ、円弧ヒンジを有する第1ヒンジ部材、円弧ヒンジを有する第2ヒンジ部材、前記第2ヒンジ部材と連動する第1レバー部材、及び前記第1レバー部材と連動する第3ヒンジ部材からなる第4移送手段と、 前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ、前記第3アクチュエータ、及び第4アクチュエータを制御する制御手段と を備え、 前記第1レバー部材は、水平部と垂直部とが設けられた第1レバー、前記第1レバーの前記垂直部に対して直角を成すように配置された第2レバー、及び前記第1レバーと前記第2レバーとを一体型に連結するノッチ型ヒンジから構成されており、 前記第1レバーの前記水平部には、前記第3ヒンジ部材が固着され、前記第1レバーの前記垂直部には、前記第2ヒンジ部材が固着される超精密位置決めシステム。
IPC (4件)：
B23Q 15/00 ( 200 6.01) ,  B23Q 1/25 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B23Q 15/00 C ,  B23Q 1/25 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 41/08 J
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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