特許
J-GLOBAL ID：201103044627295520

酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置

発明者：
会田 英雄

会田 英雄 について

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西口 健吾

西口 健吾 について

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小山 浩司

小山 浩司 について


出願人/特許権者：
並木精密宝石株式会社

並木精密宝石株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-056482
公開番号（公開出願番号）：特開2011-190134
出願日： 2010年03月12日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：
【課題】酸化ガリウム単結晶の再現性を確保することができる酸化ガリウム単結晶の製造装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶の製造装置1は制御部50を備えている。制御部50は、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する。また、制御部50は、特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における酸化ガリウムを含む原料の蒸発量を算出する。そして、制御部50は、特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、算出された酸化ガリウム原料の蒸発量とに基づいて、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な酸化ガリウム原料の重量を算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スリットを有するダイが収容されたルツボに酸化ガリウムを含む原料を投入して加熱し、前記スリットを介してその上部に溢出した前記原料の融液と種結晶とを接触させて酸化ガリウム単結晶を製造する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、 所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する重量特定工程と、 前記重量特定工程で特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における前記原料の蒸発量を算出する蒸発量算出工程と、 前記重量特定工程で特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、前記蒸発量算出工程で算出された前記原料の蒸発量とに基づいて、前記所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な前記原料の重量を算出する原料重量算出工程と、 前記原料重量算出工程で算出された重量の前記原料を前記ルツボに投入する原料投入工程と、 を備えることを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
C30B 29/16 ,  C30B 15/34
FI (2件)：
C30B29/16 ,  C30B15/34
Fターム (20件)：
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BB10 ,  4G077CF02 ,  4G077CF03 ,  4G077CF06 ,  4G077EA01 ,  4G077ED01 ,  4G077EG25 ,  4G077EH09 ,  4G077EH10 ,  4G077HA12 ,  4G077PB02 ,  4G077PB11 ,  4G077PB14 ,  4G077PF23 ,  4G077PF27 ,  4G077PF34 ,  4G077PK01 ,  4G077PK05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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