特許
J-GLOBAL ID：201103045959878487
板状物の研削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-002744
公開番号（公開出願番号）：特開2011-140100
出願日： 2010年01月08日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：
【課題】 研削不良を引き起こすことなく、また板状物を破損させることのない板状物の研削方法を提供することである。【解決手段】 板状物の研削方法であって、支持体上に板状物を配設するとともに、該板状物の外周に外的刺激により硬化する機能を有する目立て材入り樹脂を配設する配設ステップと、外的刺激により該目立て材入り樹脂を硬化する硬化ステップと、研削砥石を用いて該支持体上に固定された板状物を該目立て材入り樹脂とともに研削する研削ステップと、該研削ステップを実施した後、該支持体上から板状物を剥離する剥離ステップと、を具備したことを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
板状物の研削方法であって、
支持体上に板状物を配設するとともに、該板状物の外周に外的刺激により硬化する機能を有する目立て材入り樹脂を配設する配設ステップと、
外的刺激により該目立て材入り樹脂を硬化する硬化ステップと、
研削砥石を用いて該支持体上に固定された板状物を該目立て材入り樹脂とともに研削する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、該支持体上から板状物を剥離する剥離ステップと、
を具備したことを特徴とする板状物の研削方法。
IPC (3件)：
B24B 53/02
, B24B 7/22
, H01L 21/304
B24B53/02
, B24B7/22 Z
, H01L21/304 631
, H01L21/304 622W
3C043BB00
, 3C043CC04
, 3C043EE03
, 3C047BB01
