多段真空ポンプ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326779
公開番号（公開出願番号）：特開2003-129978
特許番号：特許第3758550号
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空対象空間から気体を吸入する吸気口と、該気体を排出する排気口と、ハウジング内に形成された複数のポンプ室と、隣接するポンプ室を直列につなぎ、多段の前記ポンプ室を形成し、前記気体を次段のポンプ室へと移送する移送通路と、最終段のポンプ室から前記排気口に前記気体を導く連通路と、各ポンプ室で同軸状に回転自在に配設されたルーツ型のロータと、同軸上のロータを回転させる回転軸と、該回転軸を回転駆動する駆動源とを備え、前記気体を吸気口より吸入し、前記移送通路を介して各段のポンプ室に移送し前記ロータの回転により前記気体を圧縮して、前記連通路を介して前記気体を前記排気口より排出する多段真空ポンプにおいて、前記連通路は、前記ハウジングに形成され、連通路内を移送される気体の熱が連通路の内壁から連通路より内径側に位置する各移送通路及び各ポンプ室に伝達されるように、前記最終段のポンプ室から、最初に前記気体の圧縮を行う第1ポンプ室の方向に延在させたことを特徴とする多段真空ポンプ。

IPC (4件)：

F04C 25/02 ( 200 6.01) , F04B 37/16 ( 200 6.01) , F04C 18/18 ( 200 6.01) , F04C 23/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

F04C 25/02 K , F04B 37/16 D , F04C 18/18 C , F04C 23/00 F

引用特許：

審査官引用 (6件)

多段真空ポンプの冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-254688 出願人：株式会社荏原製作所
スクロール式流体機械
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-334808 出願人：トキコ株式会社
容積移送型ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-132074 出願人：株式会社ティー・ディー技研

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