特許
J-GLOBAL ID：201103047243083877
基板保持機構
出願人/特許権者：
日本電子株式会社
日本電子株式会社 について
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252496
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077180
特許番号：特許第3942318号
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を静電吸着によりチャックする面を有する静電チャック体のチャック面に1個以上の固定ピンを設け、この固定ピンに前記基板のノッチ又はオリフラを接触させた状態で前記基板を前記チャック面に静電吸着させるように成した基板保持機構において、前記静電チャック体のチャック面で、少なくとも該チャック面の中心を取り囲む様に仮想的に描かれる三角形の各頂点部分に穴が開けられ、該各穴の中に、互いに平行に取り付けられた軸を支点として互いに同じ方向に傾斜可能で、少なくとも前記基板が載せられていない時に前記チャック面から上方に飛び出している基板接触部を有する補助レバーが設けられ、該補助レバーの傾斜方向両側に前記基板を押圧する押圧体が設けられており、前記基板セット時に前記補助レバーの基板接触部に載せられた前記基板を前記一方側の押圧体で押圧することにより、前記基板接触部が前記チャック面から上方に出た状態を保って前記補助レバーが傾斜角度を変えていき、前記基板のノッチ又はオリフラが前記固定ピンに接触した時に前記基板接触部が前記チャック面と面一に成る様に前記補助レバーが傾斜し、前記基板のノッチ又はオリフラが前記固定ピンに接触している状態で前記チャック面に静電吸着された基板の静電吸着を解除した時、前記他方側の押圧体で前記基板を前記押圧と逆方向に押圧することにより、前記基板接触部が前記チャック面から上方に出た状態を保って前記補助レバーが前記傾斜方向と逆の方向に傾斜角度を変えていき、前記セット時の状態に戻る様に前記補助レバーが傾斜する様に成した基板保持機構。
IPC (3件)：
FI (4件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved