特許
J-GLOBAL ID：201103047424056987

搬送車システム

発明者：
山本 眞

山本 眞 について

, 
徳本 光哉

徳本 光哉 について


出願人/特許権者：
ムラテックオートメーション株式会社

ムラテックオートメーション株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-000856
公開番号（公開出願番号）：特開2011-140366
出願日： 2010年01月06日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：
【課題】搬送車システムにおいて搬送効率を低下させない。【解決手段】搬送車システム1は、搬送車3と、CWセンサ57と、製造コントローラ21とを備えている。搬送車3は、複数の装置間で基板50が入ったキャリア49を搬送する。CWセンサ57は、キャリア49内の基板50の状態を検出する。製造コントローラ21は、搬送車3の搬送を制御するとともに、CWセンサ57から異常信号が入力されれば、搬送車3が装置からキャリア49を他の装置に搬送するのを中止させる。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
複数の装置間で基板が入った容器を搬送するための搬送車と、 前記容器内の前記基板の状態を検出するための状態検出装置と、 前記搬送車の搬送を制御するとともに、前記状態検出装置から異常信号が入力されれば、前記搬送車が前記装置から前記容器を他の装置に搬送するのを中止させる搬送制御部と、 を備えた搬送車システム。
IPC (2件)：
B65G 1/00 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B65G1/00 501C ,  B65G1/00 537Z ,  H01L21/68 A
Fターム (16件)：
3F022AA08 ,  3F022EE05 ,  3F022HH11 ,  3F022LL12 ,  3F022MM08 ,  3F022MM61 ,  3F022PP06 ,  3F022QQ13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA03 ,  5F031FA15 ,  5F031GA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA25 ,  5F031PA10
引用特許：
審査官引用 (10件)
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