特許
J-GLOBAL ID：201103048706703868

ナノチューブプローブ

発明者：
中山 喜萬

中山 喜萬 について

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秋田 成司

秋田 成司 について

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原田 昭雄

原田 昭雄 について


出願人/特許権者：
中山 喜萬

中山 喜萬 について

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大研化学工業株式会社

大研化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-173106
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321292
特許番号：特許第3766682号
出願日： 1999年05月16日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子顕微鏡の中で直接観察しながら組み立てられるプローブであり、ナノチューブと、このナノチューブを保持するホルダーと、前記ナノチューブの基端部を前記ホルダーの表面に付着させて前記基端部の所要領域を電子顕微鏡の中で電子ビーム照射により生成される炭素物質によって上方から被覆してナノチューブをホルダーに固定するコーティング膜と、前記ホルダーから突出するように配置されたナノチューブの先端部を試料表面を走査する探針とし、前記ナノチューブの先端部先端又は先端部を切断した切断面にセンサー物質を結合固定し、前記センサー物質を試料表面を直接走査する探針点とし、このセンサー物質のサイズ及び構造を調整することにより試料表面像の再現精度を向上することを特徴としたナノチューブプローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  G11B 5/127 ( 200 6.01) ,  G12B 21/02 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01N 13/16 C ,  G11B 5/127 A ,  G11B 5/127 F ,  G12B 1/00 601 A
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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