特許

J-GLOBAL ID：201103048870991491

アクティブ除振装置及び露光装置

発明者： 涌井 伸二 ,  岩井 功 ,  前田 孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-031342
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221278
特許番号：特許第4416250号
出願日： 2000年02月09日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 除振台を支持する空気ばねアクチュエータと、前記除振台の振動を計測する振動計測手段と、前記除振台の位置を計測する位置計測手段とを有する複数台の能動的支持脚と、 前記振動計測手段の出力に基づく加速度フィードバックループと、前記位置計測手段の出力に基づく位置フィードバックループとを備えた空気ばね式除振装置において、 前記除振台の上に載置されたステージを駆動するための速度プロファイルを生成する速度プロファイラと、前記速度プロファイルに対する補償器としてPI補償器とを備えて、 前記速度プロファイルを前記PI補償器に通して前記PI補償器の出力を前記空気ばね式除振装置にフィードフォワードすることによって前記除振台の上に載置された前記ステージの駆動によって発生する前記除振台を含めた本体構造体の傾きを補正することを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 ( 200 6.01) ,  G05D 19/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F16F 15/02 A ,  G05D 19/02 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-294699   出願人：キヤノン株式会社
• アクティブ除振装置および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-139242   出願人：キヤノン株式会社