特許

J-GLOBAL ID：200903074640777108

除振装置

発明者： 森貞 雅博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-294699
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264444
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 除振台上に搭載される機器の運動によって生じる揺れを効果的に抑圧する。【解決手段】 除振台と、該除振台を支持する空気バネと、該除振台を駆動するアクチュエータと、該除振台の変位を検出する変位センサと、該変位センサの出力に基づいて前記除振台が所定の姿勢を保つように前記アクチュエータの駆動信号を生成する除振台制御器とを備え、前記除振台の上に搭載されたステージと、該ステージの位置を検出する位置センサと、該位置センサの出力に基づいて前記ステージを所定の位置を保つように制御するステージ制御器とを有するステージ装置の前記ステージを除振支持する除振装置において、前記ステージを駆動するための目標値を前記除振台位置制御器にフィードフォワード入力する。

請求項（抜粋）：

除振台と、該除振台を支持および駆動する空気バネと、該空気バネの圧力調整をするサーボバルブと、前記除振台の変位を検出する変位センサと、該変位センサの出力に基づいて前記除振台が所定の位置で所定の姿勢を保つように前記サーボバルブの駆動信号を生成する除振台制御器とを備え、前記除振台の上に搭載されたステージと、該ステージの位置を検出する位置センサと、該位置センサの出力に基づいて前記ステージが所定の位置を保つように制御するステージ制御器とを有するステージ装置の前記ステージを除振支持する除振装置において、前記ステージの目標速度を前記除振台制御器にフィードフォワード入力することを特徴とする除振装置。

IPC (6件)：

F16F 15/02 ,  G01B 21/00 ,  G02B 21/26 ,  G03F 7/22 ,  G12B 9/08 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

F16F 15/02 A ,  G01B 21/00 L ,  G02B 21/26 ,  G03F 7/22 H ,  G12B 9/08 B ,  H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 能動的除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-182269   出願人：キヤノン株式会社
• 除振装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-252386   出願人：株式会社ニコン
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-008193   出願人：株式会社ニコン
• 空気バネ式除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-093192   出願人：キヤノン株式会社