蒸着層で密封されたチャンバを有するウエハー対

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：小野新次郎 , 社本一夫 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 鐘ヶ江幸男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-541734
特許番号：特許第4562285号
出願日： 1999年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】密封されたチャンバを有するウエハー組立体であって、前記ウエハー組立体は、くぼみ部を有する第1のウエハーと、くぼみ部の外周部を越え第1のウエハー上に配置される密封リングと、密封リングの外周部内にポートを有し密封リング上に配置されくぼみ部からチャンバを形成する第2のウエハーと、を有し、前記チャンバは焼き付けされ、焼き付けにより除去されるガスが前記ポートを通って前記チャンバから排出され、前記前記ウエハー組立体はさらに、第2のウエハー上に蒸着された金属でなりポートを閉鎖しチャンバを密封する層を備える密封されたチャンバを有するウエハー組立体。

IPC (3件)：