フローセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336590
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153704
特許番号：特許第4258080号
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板(1)に、配線パターンで形成された発熱体(3)を設けて、流体の流量を検出するようにしたフローセンサにおいて、前記発熱体(3)の配線パターンには前記発熱体(3)に電流を流すための2つの電流端子(8、9)が設けられ、前記2つの電流端子(8、9)の間の前記配線パターンには電圧測定端子(10)が接続されており、前記2つの電流端子(8、9)の間に通電することで前記発熱体(3)を発熱させ、前記2つの電流端子(8、9)のうちの一方の電流端子(8)と前記電圧測定端子(10)との間の電圧により前記発熱体(3)の一部の領域の電圧を測定し、この測定された前記発熱体(3)の前記一部の領域の電圧と前記発熱体(3)に流れる電流から前記発熱体(3)の前記一部の領域の抵抗値を求め、この抵抗値に基づいて前記流体の流量を検出するようにしたことを特徴とするフローセンサ。

IPC (2件)：

G01F 1/696 ( 200 6.01) , G01F 1/692 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01F 1/68 201 A , G01F 1/68 104 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

薄膜素子を有するセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-059535 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
空気流量計及び空気流量検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-249484 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-122818

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