酸素イオンビーム用マイクロ波イオン源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146121
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340127
特許番号：特許第3519023号
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸素ガスのプラズマを発生するプラズマ室と、このプラズマ室において発生したプラズマから酸素イオンビームを引き出す引き出し電極とを有する酸素イオンビーム用マイクロ波イオン源において、上記引き出し電極の少なくとも表面を形成する金属材料として、ニッケル若しくはイリジウムを用い、上記引き出し電極の材料にニッケルを用いた際には該引き出し電極の温度を100°C以下に保つための手段を備え、上記引き出し電極の材料にイリジウムを用いた際には該引き出し電極の温度を700°C以上に保つための手段を備えることを特徴とする酸素イオンビーム用マイクロ波イオン源。

IPC (3件)：