プラズマ損傷の検査方法、およびその検査素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木弘男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000711
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200817
特許番号：特許第3341694号
出願日： 1999年01月05日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に設けられた絶縁膜上にプラズマエッチングにより配線を形成するプラズマ工程において、前記プラズマエッチングにより前記配線が前記絶縁膜上に形成された状態で、ゲート電極に導通した導電部の表面が前記絶縁膜を貫通して前記配線間における前記絶縁膜上に露出し、前記配線のプラズマエッチング時に該配線間に流入するプラズマからの電荷が前記導電部の表面から流入し、前記ゲート電極を介してゲート絶縁膜を通過するようにして前記プラズマ工程における損傷を検出することを特徴としたプラズマ損傷の検査方法。

IPC (4件)：