特許

J-GLOBAL ID：201103054157836508

めっき装置

発明者： 古林 幹弥 ,  佐々木 清美 ,  沢野井 武史
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175760
公開番号（公開出願番号）：特開2001-355076
特許番号：特許第4547775号
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】底部または底部付近に開口部を有するめっき槽と、前記めっき槽の前記開口部に接続された配管部と、前記配管部に固定されたバルブとを備えるめっき装置において、前記めっき槽の内壁に着脱可能な樹脂フィルムが装着されたことを特徴とするめっき装置。

IPC (2件)：

C23C 18/31 ( 200 6.01) ,  C25D 21/12 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 18/31 E ,  C25D 21/12 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-164774
  
• 無電解めっき装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-061804   出願人：松下電工株式会社
• 石英ガラス膜付き基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339249   出願人：古河電気工業株式会社, 山根正之
• 酸洗い槽
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-257835   出願人：東洋ゴム工業株式会社