回転軸装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：谷藤孝司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184871
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012483
特許番号：特許第3452352号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】吸着部を有する上下方向の回転軸と、前記回転軸を少なくとも上下一対の軸受を介して回転自在に支持するハウジングと、前記回転軸に形成され且つ前記吸着部に連通する真空引き通路と、前記ハウジングの前記両軸受間に形成され且つ真空源に接続される真空引き通路とを夫々備え、前記ハウジングの内径側で前記両軸受間に、前記両真空引き通路を連通する連通路を設けた回転軸装置において、前記両軸受間で且つ前記連通路の上下両側に、前記回転軸側と前記ハウジング側との間をシールするラビリンスシールを備え、該両ラビリンスシール間に、前記回転軸側の前記真空引き通路からの液体を溜める溜まり部と、前記溜まり部の液体を底壁部の通孔から前記ハウジング側の前記真空引き通路を経て外部に回収可能に前記両真空引き通路を連通する前記連通路とを設けたことを特徴とする回転軸装置。

IPC (5件)：

F16C 33/80 , B23Q 3/08 , F16J 15/447 , H01L 21/304 651 , B23Q 11/00

FI (5件)：

F16C 33/80 , B23Q 3/08 A , F16J 15/447 , H01L 21/304 651 A , B23Q 11/00 E

引用特許：

出願人引用 (4件)

モータ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-061442 出願人：長野日本電産株式会社
ディスク駆動用モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-230710 出願人：株式会社三協精機製作所
特開昭60-032324

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審査官引用 (2件)

モータ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-061442 出願人：長野日本電産株式会社
ディスク駆動用モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-230710 出願人：株式会社三協精機製作所

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