ベルト搬送方式成膜装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：机昌彦 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107240
特許番号：特許第3447630号
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ベルトリングを芯線を通してつなぎ合わせた搬送ベルトを有し、前記搬送ベルトをローラーおよびテンションローラーを介して回転移動させ、搬送ベルトにガラス基板を載置して成膜炉内を移動させ成膜を行なうベルト搬送方式成膜装置において、前記搬送ベルトは外径の大きいベルトリングの列と外径の小さいベルトリングの列とを交互に配置して組み合わされていることを特徴とするベルト搬送方式成膜装置。

IPC (2件)：