特許
J-GLOBAL ID：201103056134941560
レーザ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258126
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085771
特許番号：特許第4375846号
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 紫外光を発生するレーザ装置であって、
赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、
該レーザ光発生部から発生されるレーザ光の変調を行う光変調部と、
該光変調部から発生されたレーザ光を増幅する光ファイバー増幅器を有する光増幅部と、
該光増幅部によって増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部と、を備え、
前記光変調部は、前記紫外光を発生する期間中は前記レーザ光発生部からのレーザ光をパルス変調して前記光増幅部に供給し、前記紫外光を発生しない期間中には、前記レーザ光発生部からのレーザ光のピークレベルを低下させて前記光増幅部に供給することを特徴とするレーザ装置。
IPC (8件)：
H01S 3/10 ( 200 6.01)
, B23K 26/06 ( 200 6.01)
, G02F 1/03 ( 200 6.01)
, G02F 1/37 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01S 3/06 ( 200 6.01)
, H01S 3/23 ( 200 6.01)
H01S 3/10 A
, B23K 26/06 J
, G02F 1/03 502
, G02F 1/37
, G03F 7/20 502
, H01L 21/30 515 B
, H01S 3/06 B
, H01S 3/23
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (18件)
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引用文献：
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