特許
J-GLOBAL ID:201103056355519405
空間的に部分コヒーレントな光源を有する光学的コヒーレンス干渉計法およびコヒーレンス断層写真法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松田 省躬
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-538117
特許番号:特許第4366517号
出願日: 2001年10月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】光学的コヒーレンス干渉計法および光学的コヒーレンス断層写真法において、光を反射する対象物の深部位置を測定する際に、2ビーム干渉計の参照アームの光学長を、2ビーム干渉計出力に現れる干渉を介して測定アームの光学長に等化させることにより、短コヒーレンス干渉計法「zスキャン」すなわち深部スキャンを実施するための方法であって、空間的に部分コヒーレントな光源である、横方向のマルチモードレーザ、横方向に振動するスーパールミネッセンス・ダイオード、あるいはガス封入ランプ、アークもしくは白熱電球が利用され、これら一次光源(14,19)の、または結像することによってそれらから導かれる二次光源(20または23)が、測定光ビーム光路を通じて、および参照光ビーム光路を通じて、同一の尺度でかつ合同に2ビーム干渉計出力において光検出器(10)上に結像され、その像(15)によって対象物がスキャンされることを特徴とする方法。
IPC (2件):
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01N 21/17 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 9/02
, G01N 21/17 620
引用特許: