ガラス光導波膜の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：入戸野巧 , 本山泰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147758
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335926
特許番号：特許第3825581号
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転するターンテーブルに配置された基板に、このターンテーブル外周から中心の回転軸方向に可動のガラス微粒子合成バーナによりガラス微粒子を直接吹き付けて堆積しガラス微粒子層を形成した後、高温で透明ガラス化するガラス光導波膜の作製方法において、前記ガラス微粒子合成バーナに対する前記基板の相対速度が変化する場合に、前記基板を加熱するために前記ターンテーブルに配置された熱源の温度を逐次制御することにより、前記基板又は前記ターンテーブルの温度を前記ガラス微粒子合成バーナに対する前記基板の相対速度にほぼ合わせて制御してガラス微粒子堆積時の前記基板の温度が一定となるようにすること、を特徴とするガラス光導波膜の作製方法。

IPC (2件)：