特許
J-GLOBAL ID：201103056540038570

インクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置

発明者：
宮田 佳直

宮田 佳直 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-262202
公開番号（公開出願番号）：特開2002-067316
特許番号：特許第4420544号
出願日： 2000年08月31日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 キャビティを画成したキャビティ形成基板と、該キャビティ形成基板の一方面側に振動板を介して設けられて前記キャビティに圧力を付与する圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、 前記振動板が、膜厚20μm以下の単結晶からなる単結晶部を少なくとも有すると共に酸化部を有し、前記キャビティ形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記キャビティ形成基板と前記振動板との接合界面に角度が約45°の結晶格子不整合面を有し、 前記キャビティ形成基板の他方面側に、前記キャビティに連通するノズル開口を有するノズルプレートが接合され、 前記ノズルプレートが、シリコン単結晶基板からなり、前記キャビティ形成基板との接合界面に角度が約45°の結晶格子不整合面を有する ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (4件)：
H02N 2/00 ( 200 6.01) ,  B41J 2/045 ( 200 6.01) ,  B41J 2/055 ( 200 6.01) ,  B41J 2/16 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
引用特許：
審査官引用 (11件)
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