特許
J-GLOBAL ID：201103057018371486
キャリア移載促進装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梶 良之
, 須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-237751
公開番号（公開出願番号）：特開2011-086733
出願日： 2009年10月14日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：
【課題】既存のロードポートの更新などの必要のないキャリア移載促進装置を提供すること。【解決手段】フープ8が載置されるロードポート6に対して設けられるキャリア移載促進装置1である。このキャリア移載促進装置1は、フープ8を仮置きするための仮置台2と、ロードポート6の載置台61および仮置台2の上方を水平方向に走行し且つフープ8を昇降させて載置台61と仮置台2との間でフープ8の移載を行うキャリア移載台車3と、仮置台2およびキャリア移載台車3を支持する支持部材4と、載置台61または仮置台2とOHT7との間でのフープ8の受け渡し中において、キャリア移載台車3とフープ8との接触を回避するようにキャリア移載台車3の動作を制御するコントローラ5とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
キャリア搬送手段により搬送されるキャリアが載置されるロードポートに対して設けられるキャリア移載促進装置であって、
キャリアを仮置きするための仮置台と、
前記ロードポートの載置台および前記仮置台の上方を水平方向に走行し且つキャリアを昇降させて当該載置台と当該仮置台との間でキャリアの移載を行うキャリア移載台車と、
前記仮置台および前記キャリア移載台車を支持する支持部材と、
前記載置台または前記仮置台と前記キャリア搬送手段との間でのキャリアの受け渡し中において、前記キャリア移載台車とキャリアとの接触を回避するように前記キャリア移載台車の動作を制御する移載台車制御部と、
を備える、キャリア移載促進装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, B65G49/07 L
5F031DA08
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA15
, 5F031GA19
, 5F031GA59
, 5F031PA02
