特許
J-GLOBAL ID：201103057120179948
微細欠陥検査装置およびその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 勝男
, 高橋 明夫
, 田中 恭助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171185
公開番号（公開出願番号）：特開2001-005961
特許番号：特許第3604956号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】試料を撮像して検出される画像信号を多チャンネルで並列に出力する撮像手段と、該撮像手段から並列に入力される多チャンネルの画像信号の各々をA/D変換して多チャンネルの検出画像データを並列に出力するA/D変換部と、該A/D変換部から並列に出力される多チャンネルの検出画像データを繰り返されるパターン分遅延させて前記多チャンネルの検出画像データの比較対象となる多チャンネルの参照画像データを並列に出力する遅延回路部と、前記A/D変換部から並列に出力された多チャンネルの検出画像データと前記遅延回路部から並列に出力された多チャンネルの参照画像データとに基づいて複数チャンネル単位での両画像データの間の位置ずれ量を算出する位置ずれ検出回路と該位置ずれ検出回路で算出された複数チャンネル単位での位置ずれ量に基いて前記検出画像データと参照画像データとを複数チャンネル単位で位置ずれ補正を行う位置ずれ補正回路との組を前記多チャンネル分複数並設し、これら並設された複数の組の回路により複数チャンネル単位での位置ずれ検出及び位置ずれ補正を前記多チャンネルに亘って並列処理するように構成した位置ずれ検出及び補正回路部と、該位置ずれ検出及び補正回路部における各位置ずれ補正回路から得られる複数チャンネル単位での位置ずれ補正された検出画像データと参照画像データとを比較して欠陥候補点に関する情報を抽出する比較回路を前記多チャンネル分複数並設し、これら並設された複数の比較回路から複数チャンネル単位での欠陥候補点に関する情報を前記多チャンネルに亘って出力するように構成した比較回路部とを備え、前記位置ずれ検出及び補正回路部における複数チャンネル単位に対応させて設けられた前記位置ずれ検出回路と前記位置ずれ補正回路との組の各々を第1の画像処理回路で構成し、前記比較回路部における複数チャンネル単位に対応させて設けられた前記比較回路の各々を第2の画像処理回路で構成し、前記第1および第2の画像処理回路を、複数チャンネルの画像データを並び替えて1チャンネルの画像データに合成する合成部と該合成部で合成された1チャンネルの画像データに対して複数倍の処理速度で画像処理する画像処理回路部と該画像処理回路部で画像処理された1チャンネルの画像データを並び替えて複数チャンネルの画像データに戻す分離部とを有することを特徴とする微細欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G06T 1/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
G06T 1/00 305 A
, G01N 21/88 J
, H01L 21/66 J
