基板支持装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037686
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236010
特許番号：特許第4392072号
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】中心にセンター孔を有する円板状の基板を鉛直姿勢で支持する基板支持装置であって、前記基板を前記センター孔のところだけで支持する支持ブロックであって、断面が概略V字型で上方に開口する溝を有する支持ブロックを備え、前記センター孔の内周部に前記溝が接触する部分における前記溝の開き角度は20〜60度の範囲内であり、前記溝の底部は、前記概略V字型を呈する断面における断面形状において、円弧部になっており、前記溝を形成する両側の傾斜面の上部は、前記概略V字型を呈する断面における断面形状において、上に凸の曲線部となっていることを特徴とする基板支持装置。

IPC (2件)：