圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤強
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037095
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234976
特許番号：特許第4103227号
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】取付対象に取付けられるフランジ状の取付部と、この取付部の前記取付対象に取付けられる取付面の方向と直交する方向に軸方向が沿うように、前記取付面に形成される凹部に一体化され、前記取付対象に設けられた穴部に挿入される圧力導入管部と、この圧力導入管部から導入された圧力に応じた圧力信号を出力する半導体圧力センサチップとを備えた圧力センサにおいて、前記圧力導入管部の外周面に前記軸方向に沿って形成され、前記取付部側となる一端が開放した陥没形状の収納部と、この収納部の前記一端以外を閉鎖する蓋部とを備え、前記半導体圧力センサチップは、そのチップ面の面方向が前記圧力導入管部の軸方向に沿うように前記収納部内に配設され、前記収納部は、前記取付部と前記蓋部とにより気密に密閉されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/00 ( 200 6.01) , G01L 19/14 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 19/00 A , G01L 19/14

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-135350 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-146571 出願人：株式会社デンソー
ガス圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-006794 出願人：東京瓦斯株式会社, 株式会社東芝

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