特許
J-GLOBAL ID:201103059122068712
可変容量回路
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
宮島 明
, 土屋 繁
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-128850
公開番号(公開出願番号):特開2000-323729
特許番号:特許第4551513号
出願日: 1999年05月10日
公開日(公表日): 2000年11月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1導電形の半導体基板表面の第2導電形の低濃度の拡散領域とこの拡散領域内の第2導電形の高濃度の拡散領域とからなる第1の電極と、第1の電極の低濃度部分に絶縁膜を挟んで対向し、金属膜または高濃度の不純物を含む半導体膜からなる第2の電極とを備えるMOS型コンデンサを可変容量素子とし、 第1の電極の第2導電形の低濃度の拡散領域内に、第1導電形の高濃度の拡散領域を有し、該第1導電形の高濃度の拡散領域は、前記第2導電形の高濃度の拡散領域から分離され、前記第2導電形の低濃度の拡散領域表面の中央付近にあり、電気的にフローティング状態であることを特徴とする可変容量回路。
IPC (3件):
H01L 29/94 ( 200 6.01)
, H01L 21/822 ( 200 6.01)
, H01L 27/04 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 29/94 Z
, H01L 27/04 C
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開昭48-034685
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特開昭59-023569
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特開昭52-144982
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