パターン自動検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355738
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174229
特許番号：特許第3634701号
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】反り矯正部材によってフィルムキャリアの反りを矯正するアパチャゲート部を備え、前記フィルムキャリアに形成されたパターンを複数台のカメラで順次撮像して検査するパターン自動検査装置において、前記アパチャゲート部は、前記各カメラに対応して複数個設けられ、これらのアパチャゲート部のピッチは前記カメラのピッチ調整に連動して調整され、前記反り矯正部材は、下面が前記フィルムキャリアの走行面と一致するようにフィルムキャリアの走行方向に離間して配設された一対のローラと、これらのローラ間に上下動自在に配設され、前記フィルムキャリアを上方から押圧するバックプレートとで構成され、前記フィルムキャリアの下面両側縁部を一対のキャリア支持体で支持したことを特徴とするパターン自動検査装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B 11/24 F

引用特許：

出願人引用 (4件)

パターン自動検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-267637 出願人：日本アビオニクス株式会社
パターン撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-220495 出願人：日本アビオニクス株式会社
特開平2-114106

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審査官引用 (1件)

パターン自動検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-267637 出願人：日本アビオニクス株式会社

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