特許
J-GLOBAL ID：201103059972664152

蒸着用マスク

発明者：
片桐 哲也

片桐 哲也 について


出願人/特許権者：
日本精機株式会社

日本精機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-223565
公開番号（公開出願番号）：特開2011-074404
出願日： 2009年09月29日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：
【課題】 微細な蒸着パターンに対応することができ、また、作業性を向上させることが可能な蒸着用マスクを提供する。【解決手段】 蒸着源3から蒸発した蒸着材料4を被蒸着部材(透光性基板)1に所定のパターンで蒸着させるための開口部2aを有する1層の金属板からなる蒸着用マスク2である。開口部2aは、大きさの異なる被蒸着部材側開口部2a1と蒸着源側開口部2a2とからなり、蒸着源側開口部2a2は被蒸着部材側開口部2a1より大きく形成されてなることを特徴とする蒸着用マスクである。前記金属板の両面からエッチング処理を行うことによって被蒸着部材側開口部2a1及び蒸着源側開口部2a2を形成してなることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蒸着源から蒸発した蒸着材料を被蒸着部材に所定のパターンで蒸着させるための開口部を有する1層の金属板からなる蒸着用マスクであって、 前記開口部は、大きさの異なる被蒸着部材側開口部と蒸着源側開口部とからなり、前記蒸着源側開口部は前記被蒸着部材側開口部より大きく形成されてなることを特徴とする蒸着用マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (11件)：
3K107AA01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB18 ,  4K029HA03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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