基板の搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-214609
公開番号（公開出願番号）：特開2007-035792
出願日： 2005年07月25日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】搬送装置が備えた複数の搬送アームの動作の自由度を上げる。【解決手段】回転台174に2本の昇降軸172,173が立設され,その各昇降軸172,173に,搬送アーム170,171がそれぞれ取り付けられる。搬送アーム170,171は,ウェハ支持部190とアーム部191から構成され,ウェハ支持部190を水平方向に進退させてウェハWを搬送できる。一方の搬送アームのウェハ支持部190が前方に移動した際に,そのウェハ支持部190の後方側に他方のウェハ支持部190が通過可能な空間ができるように,各搬送アーム170,171は形成されている。これにより,搬送アーム170,171は,相互に上下方向に追い越しできる。また,2つのウェハ支持部190は,櫛状に形成され,ウェハ支持部190相互間でもすれ違うことができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送装置であって, 基板を支持し水平方向に搬送する複数の搬送アームを備え, 前記複数の搬送アームは,平面から見て基板の搬送経路が重なるように上下方向に配置され, 前記複数の搬送アームは,各々が独立して上下方向に移動可能で,かつ相互に追い越し可能に構成されていることを特徴とする,基板の搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , B25J 9/06 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A , B25J9/06 D , B65G49/07 E

Fターム (25件)：

3C007AS05 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007BT11 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007LV02 , 3C007MS05 , 3C007NS12 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031GA04 , 5F031GA05 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA30 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (7件)

処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-202717 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
搬送装置およびそれを備えた処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-314690 出願人：株式会社安川電機
基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-027510 出願人：石川島播磨重工業株式会社

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審査官引用 (7件)

搬送装置およびそれを備えた処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-314690 出願人：株式会社安川電機
基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-027510 出願人：石川島播磨重工業株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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