マイクロリレー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴木康夫 , 臼田保伸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-370719
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175752
特許番号：特許第3758136号
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チップ状の半導体製またはガラス製の基板の中央に固定配置され、前記基板の平面に平行な長手方向に着磁された永久磁石と、前記永久磁石の周囲に形成された前記基板の溝部と、前記溝部内に配置され、前記溝部内で前記永久磁石の長手方向中心を支点として前記基板の永久磁石を配置した面と直交する面内で回動可能となるように半導体材料により該基板と一体に形成されたひんじバネ、接点バネおよび回動体と、前記回動体の面上に形成され、前記永久磁石を周回するように配置された渦巻き状平面コイルと、前記接点バネの先端に形成された可動接点と、前記基板の溝部底面の前記可動接点と対向する位置に形成された固定接点とを備えていることを特徴とするマイクロリレー。

IPC (3件)：