特許
J-GLOBAL ID：200903045382615734

静電継電器および静電継電器の製造方法

発明者：
森口 誠

森口 誠 について

, 
佐々木 昌

佐々木 昌 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343569
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180616
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 生産性が高く、動作特性にバラツキのない静電継電器およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】 固定接点ブロック10と可動接点ブロック30との対向面のうち、固定接点ブロック10の周辺縁部に、可動片32の動作空間を確保するためのスペーサ部20を一体に形成した。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板の上面に固定接点および駆動用電極を設けた固定接点ブロックと、この固定接点ブロックに対向するように配した半導体結晶基材のウェハに、前記駆動用電極に接離可能に対向する可動片を設けた可動接点ブロックとからなり、前記駆動用電極および可動片間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動片を板厚方向に回動し、この可動片の下面先端縁部に設けた可動接点を前記固定接点ブロックの固定接点に接離する静電継電器において、前記固定接点ブロックおよび可動接点ブロックの対向面のうち、少なくともいずれか一方の周辺縁部に、前記可動片の動作空間を確保するためのスペーサ部を一体に形成したことを特徴とする静電継電器。
IPC (2件)：
H01H 59/00 ,  H01H 49/00
FI (2件)：
H01H 59/00 ,  H01H 49/00 Z
引用特許：
審査官引用 (6件)
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