特許
J-GLOBAL ID:201103061573081830
ガス濃度測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
須藤 阿佐子
, 須藤 晃伸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-018910
公開番号(公開出願番号):特開2011-158307
出願日: 2010年01月29日
公開日(公表日): 2011年08月18日
要約:
【課題】センサー部を電気・電子回路が存在しない完全防爆型としながら、装置のレイアウトを制約せず、しかも小型のガス濃度測定装置の提供。【解決手段】レーザー出射窓に反射防止処理を施した半導体レーザー装置を含む光源部と、共振器、並びに、共振器と直交する方向に配置された集光系を含むセンサー部と、測定対象ガスからのラマン散乱光を検出する光検出器及び測定対象ガスの濃度を算出する制御部を含む検出部と、光源部及びセンサー部を接続する偏波保持光ファイバーと、センサー部及び検出部を接続する光ファイバーと、を備え、半導体レーザー装置から照射されたレーザー光を偏波保持光ファイバーを介して共振器に入射し、共振器内の光の一部を偏波保持光ファイバーを介して半導体レーザーの発振部に戻して共振器内で直線偏光のレーザー光を閉じこめることにより発振波長がロックされた狭帯域のレーザー光を発振するガス濃度測定装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レーザー出射窓に反射防止処理を施した半導体レーザー装置を含む光源部と、
入射側に配置され第1の反射ミラーおよび第1の反射ミラーと対向する第2の反射ミラーとを備えてなる共振器、並びに、共振器内のレーザー光の電界と直交する方向に配置された集光系を含むセンサー部と、
共振器内に存在する測定対象ガスからのラマン散乱光を検出する光検出器および測定対象ガスの濃度を算出する制御部を含む検出部と、
光源部およびセンサー部を光学的に接続する偏波保持光ファイバーと、
センサー部および検出部を光学的に接続する光ファイバーと、を備えたガス濃度測定装置であって、
半導体レーザー装置から照射されたレーザー光を偏波保持光ファイバーを介して共振器に入射し、共振器内で増強された光の一部を偏波保持光ファイバーを介して半導体レーザーの発振部に戻して共振器内で直線偏光のレーザー光を閉じこめることにより発振波長がロックされた狭帯域のレーザー光を発振することを特徴とするガス濃度測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (23件):
2G043AA01
, 2G043BA07
, 2G043BA09
, 2G043BA11
, 2G043BA12
, 2G043BA13
, 2G043CA01
, 2G043EA03
, 2G043GA01
, 2G043GA03
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA03
, 2G043HA05
, 2G043JA02
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043LA02
, 2G043MA11
, 2G043MA16
, 2G043NA11
引用特許:
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