特許
J-GLOBAL ID：201103061576572991

感光性ポリマーおよびこれを含むレジスト組成物

発明者：
崔 相 俊

崔 相 俊 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (5件)： 八田 幹雄 ,  野上 敦 ,  奈良 泰男 ,  齋藤 悦子 ,  宇谷 勝幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231005
公開番号（公開出願番号）：特開2001-081140
特許番号：特許第4567158号
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記式(1): (式中、R1およびR2は水素原子であり、R5は水素原子またはメチル基であり、R3はメチル基、エチル基、C3〜C20の脂肪族炭化水素および脂環式化合物からなる群より独立して選択され、R4は水素原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシメチル基、カルボキシル基、2-ヒドロキシエチルオキシカルボニル基、t-ブトキシカルボニル基および脂環式化合物からなる群より独立して選択され、R6は水素原子、2-ヒドロキシエチル基、t-ブチル基、イソボルニル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、およびメンチル基からなる群より独立して選択され、l、m、nおよびpは整数で、l/(l+m+n+p)は0.1〜0.5で、m/(l+m+n+p)は0.3〜0.5で、n/(l+m+n+p)は0〜0.3で、p/(l+m+n+p)は0〜0.3である。)で表され、重量平均分子量が3000〜100000の感光性ポリマー。
IPC (7件)：
C08F 222/06 ( 200 6.01) ,  C08F 220/06 ( 200 6.01) ,  C08F 232/00 ( 200 6.01) ,  C08K 5/00 ( 200 6.01) ,  C08L 45/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C08F 222/06 ,  C08F 220/06 ,  C08F 232/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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