弾性表面波素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：特許業務法人松田国際特許事務所 , 松田正道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236231
特許番号：特許第4245103号
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電基板である伝搬基板と、前記伝搬基板に直接接合により積層された補助基板と、前記伝搬基板の前記補助基板との接合面と反対側の面上に形成され、弾性波を励振する櫛形電極とを備え、前記伝搬基板と前記補助基板とは、少なくとも前記櫛形電極形成領域の直下の領域では、互いに接合しておらず、前記補助基板の前記弾性波の伝搬方向の熱膨張係数は、前記伝搬基板の前記弾性波の伝搬方向の熱膨張係数より小さいことを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (3件)：