特許
J-GLOBAL ID:201103062893356702

水晶振動子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 佐々木 宗治 ,  小林 久夫 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-024558
公開番号(公開出願番号):特開2000-223996
特許番号:特許第3937627号
出願日: 1999年02月02日
公開日(公表日): 2000年08月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 1対の振動電極が形成された振動子基板と、該振動子基板を支持するベース基板と、前記振動子基板を覆うリッド基板とを備え、前記振動子基板、前記ベース基板及びリッド基板は平坦な基板から構成され、陽極接合されて気密封止され、 前記振動子基板は、 第1及び第2の振動電極が形成された振動子片と、 該振動子片を支持し、且つ、前記第1の振動電極に接続された第1の配線電極が一方の面の第1の所定の角部の周囲を除いた全面に形成され、前記第2の振動電極に接続された第2の配線電極が他方の面の、前記第1の所定の角部とは異なる第2の所定の角部の周囲を除いた全面に形成され、前記振動子片より厚い枠部とを備え、 前記枠部の前記第1の所定の角部及び前記第2の所定の角部の側壁に前記第1の配線電極及び前記第2の配線電極とそれぞれ接続された第1及び第2の外部電極を形成し、 前記ベース基板は、 その角部側壁の内、前記第1の所定の角部及び前記第2の所定の角部に対応する角部の側壁に、第3及び第4の外部電極がそれぞれ形成され、且つ、前記第3及び第4の外部電極はこのベース基板の裏面に形成された第1及び第2の接続電極にそれぞれ導かれ、そして、前記1の外部電極と前記第3の外部電極とが接続され、前記2の外部電極と前記第4の外部電極とが接続され、 前記振動子基板及び前記ベース基板の角部側壁には切欠部が形成され、その上に前記第1の外部電極〜前記第4の外部電極がそれぞれ形成されてなり、 前記ベース基板及び前記リッド基板の前記振動子基板への対向面には電極を設けないようにしたことを特徴とする水晶振動子。
IPC (4件):
H03H 9/19 ( 200 6.01) ,  H03H 3/02 ( 200 6.01) ,  H03H 3/04 ( 200 6.01) ,  H03H 9/02 ( 200 6.01)
FI (4件):
H03H 9/19 A ,  H03H 3/02 B ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/02 L
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 圧電共振素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-033824   出願人:住友金属工業株式会社
  • 圧電素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-035191   出願人:松下電器産業株式会社
  • チップ型圧電振動部品
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-182183   出願人:住友金属工業株式会社
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