特許
J-GLOBAL ID：201103063431062548

三次元計測装置及び基板検査装置

発明者：
梅村 信行

梅村 信行 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 川口 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-092403
公開番号（公開出願番号）：特開2011-220934
出願日： 2010年04月13日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
【課題】三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置及び基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置は、プリント基板に対し光を照射する照明装置と、プリント基板上の前記照射された部分を撮像するCCDカメラと、各種制御を行う制御装置とを備えている。そして、検査対象領域が輝度飽和しない第1露光時間で第1撮像処理を行い、計測基準領域の計測に適した所定の露光時間のうち、前記第1露光時間で不足した分に相当する第2露光時間で第2撮像処理を行う。続いて、検査対象領域に関しては、第1撮像処理により得た画像データの値を用い、計測基準領域に関しては、第1撮像処理により得た画像データの値と、第2撮像処理により得た画像データの値とを合算した値を用いた三次元計測用の画像データを作成し、当該三次元計測用の画像データに基づき、三次元計測を行う。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
検査対象となる第1エリア及び当該第1エリアの高さ計測の基準となる第2エリアを有する計測対象物に対し、三次元計測用の光を照射可能な照射手段と、 前記光の照射された前記計測対象物からの反射光を撮像可能な撮像手段と、 前記撮像手段により撮像された画像データに基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う画像処理手段とを備えた三次元計測装置であって、 前記第1エリア又は前記第2エリアの一方である明部に対応する箇所が輝度飽和しない第1露光時間により撮像を行う第1撮像処理と、 前記第1エリア又は前記第2エリアの他方である暗部の計測に適した所定の露光時間のうち、前記第1露光時間で不足した分に相当する第2露光時間により撮像を行う第2撮像処理と、 前記第1撮像処理により取得した画像データの輝度飽和していない箇所と、前記第2撮像処理により取得した画像データの輝度飽和していない箇所とを合成して、前記第1エリア及び前記第2エリアについて輝度飽和していない三次元計測用の画像データを作成する画像作成処理と、 前記三次元計測用の画像データを基に三次元計測を行う三次元計測処理とを備えたことを特徴とする三次元計測装置。
IPC (3件)：
G01B 11/25 ,  H05K 3/34 ,  G06T 1/00
FI (3件)：
G01B11/25 H ,  H05K3/34 512B ,  G06T1/00 315
Fターム (50件)：
2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA53 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC25 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065DD09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065NN12 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU05 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CE08 ,  5B057CE11 ,  5B057DA07 ,  5B057DA17 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5E319AA03 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD29 ,  5E319CD51 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM