特許
J-GLOBAL ID：200903098921864898
3次元形状測定装置および3次元形状測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-124648
公開番号（公開出願番号）：特開2008-281391
出願日： 2007年05月09日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
【課題】 位相シフト法により測定対象物の3次元形状を測定する場合において、測定対象物の反射率が場所によって異なっても精度よく形状測定を行うこと。【解決手段】 3次元形状測定装置1は、複数の強度の光を測定対象物OBに照射してそれぞれの強度の光ごとに測定対象物OB上に縞模様を形成し、形成された縞模様から複数の強度の光で照射した各々の場合ごとに位相値および評価データを算出する。評価データを評価することによって、各々の強度の照射光で照射された場合について算出された位相値の中から、その照射光の照射位置における反射率に最も見合った強度の照射光で照射された場合に算出された位相値を選択する。このように選択した位相値を用いて測定対象物の3次元形状を測定することにより、測定対象物OBの反射率の変化による3次元形状データの測定精度の悪化を防止あるいは抑制することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象物に明部と暗部が周期的に繰り返される縞模様を形成するように、測定対象物に照射光を照射する光照射手段と、測定対象物に形成される前記縞模様のそれぞれの箇所における位相である縞位相が複数の異なる位相となるように前記縞位相を変更する縞走査手段と、前記縞位相が前記複数の異なる各々の位相である場合に測定対象物に照射された照射光の反射光を受光するとともに、受光した反射光の光量に応じた受光信号を出力する受光器と、前記受光器が出力する受光信号に基づいて前記受光器にて受光する光の光量変化を表す光量曲線の位相値を前記受光器における反射光の受光位置ごとに算出し、算出した位相値に基づいて測定対象物の3次元形状データを作成するデータ処理手段と、を備える3次元形状測定装置において、
前記縞位相が前記複数の異なる各々の位相である場合に、照射光が所定の複数の異なる強度で測定対象物に照射されるように、照射光の強度を制御する強度制御手段を備え、
前記データ処理手段は、
前記受光器における前記反射光の前記受光位置ごとに、前記受光器が出力する受光信号から得られる位相値に基づいて測定対象物の3次元形状データを作成した場合における当該3次元形状データの測定精度に関する評価データを、前記受光信号に基づいて前記所定の複数の異なる強度で照射光を測定対象物に照射している各々の場合について算出する評価データ算出手段と、
前記評価データ算出手段が前記所定の複数の異なる強度で照射光を測定対象物に照射している各々の場合について算出した評価データの中から、その評価データの算出に用いた受光信号から得られる位相値を用いて測定対象物の3次元形状データを作成した場合における当該3次元形状データの測定精度が良好になる評価データを抽出する評価データ抽出手段と、
前記評価データ抽出手段が抽出した評価データの算出に用いた受光信号から得られる位相値に基づいて測定対象物の3次元形状データを作成する形状データ作成手段と、を備えることを特徴とする、3次元形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065FF04
, 2F065FF06
, 2F065GG06
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL21
, 2F065NN01
, 2F065NN12
, 2F065QQ16
, 2F065QQ29
, 2F065QQ51
, 2F065SS02
, 2F065SS13
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (9件)
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