三次元計測装置及び基板検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-118249
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300539
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】計測対象物の所定領域を高さ基準面として適正に利用可能であって、しかも、簡素化によりコストを低減させると共に三次元計測に要する時間を低減させた三次元計測装置を提供する。【解決手段】計測基準領域とそれに応じた照明装置10の輝度との対応関係が基板用テーブル27Bとして照明用データベース27に記憶されている。そして、この基板用テーブル27Bに基づき、計測基準領域に応じた照明装置10の輝度(背景用輝度)が設定可能となっている。かかる構成の下、背景用輝度での照射によって得られる画像データに基づき、プリント基板の計測基準領域の三次元計測を行う。また、検査対象領域の計測を目的とする撮像に前後して計測基準領域の計測を目的とする撮像を1回だけ行い、各撮像ごとに三次元計測を行う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

検査の対象となる第1測定エリア及び当該第1測定エリアの高さ計測の基準となる第2測定エリアを有する計測対象物に対し、三次元計測用の光を、設定される照射強度で照射可能な照射手段と、前記照射手段による前記光の照射に基づき、撮像を行う撮像手段と、前記照射手段をして、前記第1測定エリアに応じた照射強度で前記光を照射させ、当該照射の前又は後に、前記第2測定エリアに応じた照射強度で前記光を照射させることが可能な制御手段とを備え、前記撮像手段は、前記制御手段による照射ごとに撮像を行うよう構成されていることを特徴とする三次元計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (16件)：

2F065AA24 , 2F065AA59 , 2F065BB01 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065FF00 , 2F065FF04 , 2F065HH07 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065NN02 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065RR06

引用特許：

出願人引用 (1件)

光学式計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-062752 出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (9件)

高さ測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-297703 出願人：富士通株式会社
三次元形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-171860 出願人：株式会社ユニスン, 世古口言彦
顕微鏡システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-214156 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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