特許
J-GLOBAL ID：201103063604451111
磁気光学式空間光変調器およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-141484
公開番号（公開出願番号）：特開2010-286729
出願日： 2009年06月12日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：
【課題】画素間のばらつきが少なく、応答速度の優れた磁気光学式の空間光変調器を提供する。【解決手段】透明な基板7上に2次元配列された複数の画素4を備え、基板7側から入射した光を反射させて出射する空間光変調器1であって、画素4は、入射した光をその偏光方向を変化させて出射する光変調素子5と、その下の加熱成膜にて形成された結晶性の透明電極材料を含む下部電極3と、光変調素子5上の金属電極材料からなる上部電極2とを備える。基板7を透過して画素4に入射した光は、下部電極3をさらに透過して光変調素子5に入射し、さらに光変調素子5を透過した光は上部電極2で反射して、再び光変調素子5、下部電極3、および基板7を透過して出射する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光を透過させる基板と、この基板上に2次元配列された複数の画素と、前記複数の画素から1つ以上の画素を選択する画素選択手段と、この画素選択手段が選択した画素に所定の電流を供給する電流供給手段と、を備え、前記基板を透過して前記複数の画素に入射した光を反射させて出射する磁気光学式空間光変調器であって、
前記画素は、前記画素選択手段に選択されたときに入射した光をその偏光方向を特定の方向に変化させて出射する光変調素子と、この光変調素子の上下に接続された上部電極および下部電極と、を備え、
前記下部電極は、前記基板側から入射した光を透過させ、かつ前記光変調素子から出射した光を透過させるように、少なくとも一部が透明電極材料で形成され、
前記上部電極は、前記光変調素子から入射した光を反射させるように金属電極材料からなることを特徴とする磁気光学式空間光変調器。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G02F1/09 503
, G02F1/09 505
2H079AA03
, 2H079AA13
, 2H079BA02
, 2H079CA02
, 2H079DA12
, 2H079EB17
, 2H079FA04
, 2H079GA05
, 2H079HA03
, 2H079HA12
, 2H079HA15
, 2H079JA02
, 2H079JA03
, 2H079JA05
, 2H079KA05
, 2H079KA18
, 2H079KA19
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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