表示デバイスおよびその製法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：植木久一 , 菅河忠志 , 二口治 , 伊藤浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-199576
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023388
出願日： 2004年07月06日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：

【課題】アルミニウム合金膜と透明電極が直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルの省略を可能にするアルミニウム合金膜を用いた表示デバイスとその製造技術を提供すること。【解決手段】基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された透明導電膜、および、これら薄膜トランジスタと透明導電膜を電気的に接続するアルミニウム合金膜を有し、該アルミニウム合金膜と前記透明導電膜の界面には該アルミニウム合金の酸化皮膜が形成されており、該酸化皮膜の膜厚が1〜10nmで、該酸化皮膜中の酸素含有量が44原子%以下である表示デバイスとその製法を開示する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に配置された薄膜トランジスタと透明導電膜、および、これら薄膜トランジスタと透明導電膜を電気的に接続するアルミニウム合金膜を有し、該アルミニウム合金膜と前記透明導電膜の界面には該アルミニウム合金の酸化皮膜が形成されており、該酸化皮膜の膜厚が1〜10nmで、該酸化皮膜中の酸素含有量が44原子%以下であることを特徴とする表示デバイス。

IPC (6件)：

G02F 1/134 , G02F 1/136 , H01L 23/52 , H01L 21/320 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (6件)：

G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01L21/88 N , H01L21/90 A , H01L29/78 612C , H01L29/78 616V

Fターム (77件)：

2H092GA17 , 2H092GA19 , 2H092GA29 , 2H092GA51 , 2H092HA04 , 2H092HA05 , 2H092JA26 , 2H092JA46 , 2H092JB07 , 2H092KA19 , 2H092KB05 , 2H092MA17 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 5F033HH33 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ33 , 5F033JJ38 , 5F033KK09 , 5F033NN03 , 5F033PP15 , 5F033PP33 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033VV15 , 5F033XX09 , 5F033XX28 , 5F033XX33 , 5F110AA03 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG45 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ22 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110HM19 , 5F110NN03 , 5F110NN12 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ12

引用特許：

出願人引用 (10件)

表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-083260 出願人：株式会社東芝
薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086291 出願人：三菱電機株式会社
薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086292 出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ

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審査官引用 (8件)

薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086292 出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
液晶ディスプレイ用Al系ターゲット材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-040106 出願人：日立金属株式会社
アクティブマトリクス基板のコンタクトホール形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-385535 出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ

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