特許
J-GLOBAL ID:201103063790189944

レーザ発振装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐々木 聖孝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-360401
公開番号(公開出願番号):特開2001-177170
特許番号:特許第4398036号
出願日: 1999年12月20日
公開日(公表日): 2001年06月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 側面に励起光を照射されると軸方向の両端面から光を放出するロッド型の固体レーザ媒体と、 前記固体レーザ媒体を間隔を空けて包囲し、前記固体レーザ媒体の側面に沿って第1の冷媒流路を形成する光透過性のチューブと、 励起用のレーザビームを発生するための半導体レーザ素子を直線的に複数個配列してなるレーザビーム出射面と前記半導体レーザ素子を保持する熱伝導性の保持部材と前記保持部材に貫通して形成された第2の冷媒流路とを有し、前記レーザビーム出射面が前記固体レーザ媒体の側面と対向するようにして前記固体レーザ媒体の周囲に周回方向の間隔を置いて並列に配置される複数の励起レーザユニットと、 前記固体レーザ媒体の両端面にそれぞれ対向して配置される一対の光共振器ミラーと、 前記固体レーザ媒体、前記励起レーザユニットおよび少なくとも一方の前記光共振器ミラーを一体的に保持する保持ユニットと、 前記保持ユニットに冷媒を供給する冷媒供給部と を具備し、 前記保持ユニットが、 前記固体レーザ媒体と前記励起レーザユニットとを収容するチャンバと、 前記保持ユニット内の光共振器ミラーを包囲して保持する箱型の熱伝導性部材からなるミラー保持部と、 前記保持ユニットに保持される光共振器ミラーの周囲に温調空間を形成するように前記ミラー保持部と密着した状態で前記チャンバと前記ミラー保持部との間に挟まれ、前記固体レーザ媒体と前記光共振器ミラーとの間で伝播する前記レーザ光を通すための光通路を有する熱伝導性ブロックからなる連結部と、 前記冷媒供給部からの冷媒を一方が導入し他方が排出するために前記連結部に設けられる第1および第2のポートと、 前記複数の励起レーザユニットのそれぞれの第2の流路の始端を並列に接続するために、前記チャンバの前記連結部と隣接する側の端部に設けられる第1の接続通路と、 前記複数の励起レーザユニットのそれぞれの第2の流路の終端を前記第1の流路の始端に共通接続するために、前記チャンバの前記連結部と反対側の端部に設けられる第2の接続通路と、 前記第1の接続ポートから前記第1の接続通路までの流路を形成するために前記連結部に設けられる第3の接続通路と、 前記第1の流路の終端から前記第2のポートまでの流路を形成するために前記連結部に設けられる第4の接続通路と を有する、レーザ発振装置。
IPC (3件):
H01S 3/042 ( 200 6.01) ,  H01S 3/08 ( 200 6.01) ,  H01S 3/094 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01S 3/04 L ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/094 S
引用特許:
審査官引用 (4件)
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